第1年
开启式管式炉系列
小型混合管式/箱式炉
真空热压炉
小型流延自动涂膜烘干机--MSK-AFA-
真空管式炉 VBF-1200X-H8
立式炉
双温区立式高温高压炉--OTF-1200X-V
带有预热系统的滑动PECVD
- 型号：
- OTF-1200X-S-HPCVD
- 产地：
- 安徽
OTF-1200X-S-HPCVD是一款坩埚可炉管内移动（靠步进电机控制）的小型开启式管式炉。炉管直径为50mm，设备最高工作温度为1200℃。
设备特点：坩埚通过一步进电机控制炉管，按照设定程序移动，同时坩埚后端安装一热电偶（随坩埚仪器移动)，可实时监测样品的温度，意味着可通过移动坩埚的位置，在炉体中准确找到实验所需要的温度，使得实验准确度更高，重复性更强。此款设备可用于多种实验，比如HPCVD（hybrid physical chemical deposition），快速热蒸发，也可用于水平布里奇曼（Bridgman）法来长晶体。
技术参数
高温炉部分 | 炉体设计为开启式，以便于更换炉管 工作电源：208 - 240 VAC, 50/60Hz 最大功率为：2KW 最高工作温度：1200℃（<1hr) 连续工作温度：1100℃ 加热区长度：200mm 恒温区长度：60mm(+/-1℃ @ 1000 ℃ ) 炉管：高纯石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x 450mm L)（点击图片查看详细资料）
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温度控制系统 | 采用PID30段程序化控温，其控温精度为+/-1℃ 控温仪表操作视频 设有过热和断偶保护 热电偶采用K型热电偶
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真空密封 | 采用KF结构密封法兰，硅胶密封圈密封 法兰上安装有一机械压力表 右端法兰与一个真空不锈钢波纹管连接（不锈钢波纹管最大伸缩幅度为150mm) 真空度：10-2Torr(用机械泵抽） 10-5Torr(用分子泵抽） |
坩埚移动机构&PLC控制 | 一个直径为1/4＂的欧米伽铠装热电偶（K型），通过法兰伸入到炉管中，并可随坩埚移动，可实时监测样品的实际温度。 通过步进电机移动炉管内的坩埚（样品台），最大行程为100mm，移动精度为1mm 通过触摸屏设定坩埚一定的距离和目标位置，坩埚移动速度为180mm/min(更精确的移动速度，可与本公司联系定制，需额外收费） 可观察下图，了解坩埚与热电偶的安装方法
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最大加热速率和冷却速率 | 可通过移动样品到已预加热的炉体中来得到最大的加热速率，也可将样品迅速移除高温的炉体，来得到最大的降温速率 最大加热速率10℃/sec (150℃ - 250℃);7℃/sec (250℃ - 350℃);4℃/sec (350℃ - 500℃);3℃/sec (500℃ - 550℃);2℃/sec (550℃ - 650℃);1℃/sec (650℃ - 800℃);0.5℃/sec (800℃ - 1000℃);最大降温速率10℃/sec (950℃ - 900℃);7℃/sec (900℃ - 850℃);4℃/sec (850℃ - 750℃);2℃/sec (750℃ - 600℃);1.5℃/sec (600℃ - 500℃);1℃/sec (500℃ - 400℃);0.5℃/sec (400℃ - 300℃);
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可选配件 | 可选购手动挡板阀（图1） 防腐型数显真空计（图4） 快速连接法兰，以方便于放置样品（图2） 多路质量流量计控制的混气系统，用于CVD和DVD实验（图5）
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尺寸 |
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质保 | 一年质保期，终生维护（不含加热元件、炉管和密封圈） |
质量认证 | CE认证 所有电器元件（>24V）都通过UL?/?MET?/?CSA认证 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 |
注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
应用 | 此款设备可用于多种实验，以下列出了几种实验方法 RTE（快速热蒸发）：蒸发料放在坩埚中，放入到炉体中心，基片放在样品台上，样品台与热电偶相连接，然后将样品台移动到理想的位置（此位置温度是实验所需要的温度） HPCVD（混合物理化学沉积）：与RTE相似，但需配混气系统，对反应气体混合并控制流量，同时也需设定蒸发料的位置（确定蒸发料的蒸发温度） 水平布里奇曼（Bridgman）法来长晶体：将样品和籽晶放入到坩埚中，并将坩埚放入到炉体中心位置，然后设定坩埚移动速度，慢慢移动坩埚 |
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
鲁公网安备37021402001368号