4路质子混气管式PECVD系统

产品特点

虽环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解，离解和离化，从而大大提高了反应物的活性。因此，这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。

科晶公司提供定制的薄膜材料的实验室质量可靠、价格合理的紧凑型PECVD系统。

下图显示的是PECVD法用500W交流等离子体与OTF1200x50、7通道精密质量流量计和高真空系统气体组成

  OTF-1200X开启式管式炉，工作温度高达1200℃      化学气相沉积系统的组成图

开启式管式炉

工作温度：1200℃

炉管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用

温度控制器：30段高精度数字可编程温度控制器

加热区长度：440mm

恒温区长度：150mm

功率：AC 220V 4KW

等离子射频电源                       

输出功率：50-500W最大可调±1%

RF频率： 13.56MHz，稳定性±0.005%

噪声：≤55DB

冷却：风冷

输入功率：1KW  AC 220V

真空泵和阀门                          

采用KF25系列波纹管和精密针阀连接

真空度可达10-3torr

本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10^-5至 1125Torr.不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）

质量流量计

内部装有高精度数字显示质量流量计可准确的控制气体流量

气体流量范围为0-200 误差为0.02%

一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀

不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入

进气口：采用国际标准双卡套接头

细节图展示

外形尺寸

炉体：550*380*520mm

供气及真空系统：600*600*597mm

净重：120KG

质保期

一年质保期相关耗材除外，如加热元件，密封圈等易耗件

质量认证

 CE认证

所有电器元件（>24V）都通过UL?/?MET?/?CSA认证

若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
     

国家专利

专利名称：可组合式等离子增强化学气相沉积装置

专利编号：ZL-2011-2-0355777.1

尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

石英管的长时间使用温度＜1100℃

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）