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Tergeo等离子清洗机

价格 100000.00元/
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品牌名称
PIE Scientific
厂家区域
广西百色市
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产品详情
型号:
Tergeo
产地:
美国

一、Tergeo系列等离子清洗机应用

适用于等离子体清洗,蚀刻,表面处理

 

应用领域

1.医疗器械活化、杀菌和提高涂层附着力

2.光刻胶灰化、除渣、硅片清洗

3. PDMS,微流体,玻片和实验室上的芯片

4.用于烃污染去除的SEM / TEM样品清洗

5.引线键合,倒装芯片底部填充,器件封装和解封

6.改善金属与金属或复合材料的结合

7.改善塑料、聚合物和复合材料的粘接

 

二、Tergeo系列等离子清洗机的特点

1、13.56MHz高频射频发生器;

2、7英寸触摸屏控制界面,全自动操作;

3、标配75W版本,可选150W版本;

4、系统具有双等离子源。浸入式等离子源用于主动表面处理、光刻胶蚀刻。远程式等离子源用于温和的污染清除以及脆弱易损样品的表面活化。

 

三、技术参数

1、控制系统

1)操作界面:7英寸电阻触摸屏操作界面,支持多种工作方式。

2)程序控制:可编程,总共有20个程序,每个程序有3个清洁步骤。

2、反应腔体

1)腔体材质:圆柱形石英玻璃舱;

2)腔体容积:2.6L;

3)腔体尺寸:内径110毫米,深度280毫米。

3、射频电源

1)射频频率:13.56MHz;

2)射频功率:标配0~75W;从0瓦到75瓦之间以1瓦间距连续可调,可选0~150W;。

4、等离子源

1)等离子强度探测器实时测量等离子源强度。

2)外置电极设计,高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。

5、气体控制

1)气路控制:标配一路MFC;可选配三路MFC;

2)质量流量计可以在0~100sccm之间控制气体流量;

3)一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。

注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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