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Diener 等离子表面处理仪 Tetra45

价格 600000.00元/
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品牌名称
Diener
厂家区域
上海
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上海尔迪仪器科技有限公司

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产品详情
型号:
Tetra45
产地:
德国

德国Diener低压等离子清洗机 Tetra45              德国原装进口


特点:

·           单层处理,腔体深度接受定制,Max.1200mm

·           使用PCCE/Full PC软件,拥有更精确的工艺参数控制功能

·           铝制腔体适用于半导体封装工艺

 

应用:

·           各种材料表面有机物与无机物的去除

·           IC/LED封装,BGA/CSP/COB基板处理

·           Wafer去胶和蚀刻

·           印刷基板镀层前处理

·           LED光学氟化材料镜头等处理

·           塑料橡胶陶瓷玻璃表面改性

 

技术参数:

型号

Tetra45   PCCE

Tetra45   FULL PC

控制模式

手动和自动

显示

3.5’’TFT   (7’’ optional)

15’’  

软件

Windows   PCCE Soft

Window   Full PC

真空计

PID控制,数字显示

真空计量程

0~9.99mbar

发生器*1

13.56MHz 0~600W

工艺气路

2pcs   MFC/ O2ArN2He

冲洗气路

1pc

泄气气路

1pc

腔体材质

铝合金

腔体尺寸*2

W572   mm x D650 mm x H125 mm45L

腔体门

铝合金带观察窗

托盘:

旋转托盘 直径 Max.550mm

外形尺寸

W850   mm x D800 mm x H1700 mm

电源

3P,AC400V   16A

真空泵*3

Leybold   D65C

 

注:

*1可以选配发生器2.45GHz   0~850W或者100kHz/0-500W

*2腔体深度接受定制,Max.1200mm

*3可以选配干式真空泵KASHIYAMA NEODRY36E


注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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