DIENER PLASMA ATTO 等离子清洗机

型号：

ATTO

产地：

德国

10.5 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 为手动型，配有 PC 和 PCCE 控制系统，主要用于以下领域：

小批量生产

分析 (REM, TEM)

医疗技术

灭菌

研究和开发部门

考古

纺织技术

塑料技术

等离子设备 Atto，配有手动控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统，用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻	等离子设备 Atto，配有外部 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统，用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统	等离子设备 Atto，配有内置式 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统，用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统




系列	Atto 手动控制	Atto 外部PC控制	Atto 集成PC控制
控制系统	手动型、通过模拟计时器测定工艺时间	PC-控制系统 (Microsoft Windows XP)	PC-控制系统 (Microsoft Windows CE)
体积	10.5L
真空腔室	玻璃材质、Dia.211 mm、长 300 mm
样品支架	1个样品支架
气源	2 个由针型阀控制的气体通道	2 个由 MFCs 控制的气体通道	2 个由 MFCs 控制的气体通道
高频电流发生器	40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/300 W 反射波自动匹配
真空泵	5 m3/h
外尺寸	宽  525 mm、高  275 mm、深  450 mm
电源电压	AC220V







 

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途