真空镀膜离子溅射仪108

型号：

108

产地：

美国

108真空镀膜仪是一款结构紧凑的手动型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

l  通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

l  操作容易快捷，控制的参数包括放气以及氩气换气控制。

l  可用MTM-10高分辨膜厚控制仪（选件）精确测定所镀膜的厚度。

l  数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

l  可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。

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技术参数

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溅射系统
样品室大小	直径120mm x 120mm 高
靶材	Au 靶为标配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）; 大小：直径57mm x 0.1mm厚
样品台	可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm
溅射控制	微处理器控制，安全互锁
溅射电流	5~45mA可调
溅射头	低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
计量表	真空： Atm - 0.001mbar，电流：0~50mA
厚度监控   (选件)	使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）精确测定所镀膜的厚度
控制方法	具有气体换气和泄气功能，带有“暂停”控制的数字定时器（5－300s）
真空系统
真空泵	2级直连式高速真空泵
抽气速率	3.0 m3/小时 ，真空度到 0.1mb所需时间30秒.
极限真空	5 x 10-3mba
桌上系统	真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统

 

 

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

售后服务承诺

免费上门安装：是

保修期：1年

是否可延长保修期：否

保内维修承诺：仪器安装验收后1年内，免费保修（免费质保期期限起计方式：产品自验收合格之日起计算

报修承诺：报修后需预约上门时间

免费仪器保养：无

免费培训：有

现场技术咨询：有