离子溅射仪 sputter coater 108AUTO

型号：

108AUTO

产地：

美国

  108Auto是一款结构紧凑的离子溅射仪，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。108auto离子溅射仪的样品室直径为120 mm，样品台的高度可以任意调节，同时还带有高效的直流磁控溅射头和独立的真空控制系统，能充分满足客户的多种需求。

主要特性

自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和zui佳的导电喷镀效果。

通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，

通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

可用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）手动停止喷镀过程。

数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和zui佳的镀膜效果。

可使用多种金属靶材：Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。

 


技术参数
样品室大小	直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")
靶材	Au 靶为标配，Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;大小：直径57mmx 0.1mm厚
样品台	可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm
溅射控制	微处理器控制，安全互锁，可调，zui大电流40mA，程序化数字控制
溅射头	低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
模拟计量	真空：Atm - 0.001mbar
厚度监控 (选件)	使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，或使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过程
控制方法	自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气
桌上系统	真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统

 

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

售后服务承诺

免费上门安装：是

保修期：1年

是否可延长保修期：否

保内维修承诺：仪器安装验收后1年内，免费保修（免费质保期期限起计方式：产品自验收合格之日起计算

报修承诺：报修后需预约上门时间

免费仪器保养：无

免费培训：有

现场技术咨询：有