SPARC -高性能SEM阴极发光成像系统

型号：

Sparc

产地：

荷兰

ARC（angle resolved cathodoluminescence）由FOM Institute of AMOLF的Peter Polman group 创新研发， 获得2014年MRS创新大奖。 后由荷兰Delmic公司重新设计并商用，它是一套高性能的阴极发光检测系统。凭借独特的高精度镜面，SPARC开辟了新的研究途径，如电子束引起的纳米光子学。灵敏度和易用性，SPARC帮助和推动科学家将阴极发光应用到更多高阶研究领域。

全面表征样品特性

SPARC是研究纳米级光谱信息的终极理想平台。该系统集成在SEM上，让您能够轻松实现阴极发光成像与SEM其他探测结果的完美关联，如EBSD电子背散射衍射，EBIC和BSD。这使您能够充分全面地表征你的样品特性。

与SEM无缝集成

系统无干涉安装在SEM提供的真空端口上，内部硬件可电动回退。恢复电镜到原始状态异常简单轻松， 您只需要操作软件，点击抛物镜回退功能即可。整个过程不到五分钟，就可完整恢复SEM到其原始状态。

快速光强扫描

快速模拟量光电倍增管PMT检测，可用于大规模快速成像。对于大面积样品快速检测，非常适合地质领域的应用、超快器件的研究和感兴趣区域的快速定位。内置滤波片转轮，可根据需要配置和筛选频谱。

角分辨解析光谱成像

SPARC提供非常独特的角分辨解析图像。与常规通过光纤或狭窄开口耦合光线不同，大面积半抛物反射镜直接耦合反射到成像照相机，大幅度提高光子收集效率。最特别的是， 系统还能检测光的发射方向性，也常被称为瞬间光谱。在这种模式下，调整使用滤光片转轮上特定滤波片用于选择需要的波长。

高谱像

当SPARC系统运行在光谱模式下，从反射镜传递来的光聚焦在光栅或柴尔尼 - 特纳摄谱仪成像。不同的成像探测器可以覆盖200nm-1600nm的光谱范围。通过电子束扫描整个样品，就可以得到高空间分辨率的光谱图像。

阴极发光偏振图像

在角度分辨模式使用偏振片或偏光计，SPARC系统可以对不同发射角度的光进行极性状态重构。先进的光学系统自动校准包括半抛物反射镜的对准的校验，对于极性状态重构是最最关键的一环。SPARC提供完整的系统自动校准功能。

友好用户交互

Odemis 软件

模块化设计加上开源的ODEMIS软件， 我们提供友好交互解决方案以服务广泛的用户类型。 我们提供系统化解决方案，实现真正根据应用需求定制化的独特的系统，充分满足科学家不同的需求。

软件特点

强大的软件功能，比如图像自动峰值校准，即时极性制图、图像到处和漂移校正等，提高您图像采集的效率和质量。开源程序使用Python语言编写， 专家用户可以自己二次开发全面定制属于自己的图像算法和硬件控制

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途