- 型号:
- FT110
- 产地:
- 日本
FT-110通过自动定位功能,仅需把样品放置到样品台上,就可在数秒内对样品进行自动对焦。由此,无需进行以往的手动逐次对焦的操作,大大提高了样品测量的操作性。
近年来,随着检测零件的微小化,对微区的高精度测量的需求日益增多。FT-110实现微区下的高灵敏度,即使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。
同时,FT-110还配备有新开发的薄膜FP法软件,即使没有厚度标准物质也可进行多达5层10元素的多镀层和合金膜的测量,可对应更广泛的应用需求。
可从最大250×200mm的样品整体图像指定测量位置,另有机仓开放式机种,可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量
低价位也是FT-110的特点,与以往机型相比,既提高了功能性又降低20%以上的价格。
膜厚仪作为可靠的品管工具,可针对半导体材料、电子元器件、汽车部件等的电镀、蒸镀等的金属薄膜和组成进行测量管理,可保证产品的功能及质量,降低成本。
特点:
·即放即测:无需人工对焦造成误差,测量结果更可靠;·测试速度快:3秒自动对焦,10秒钟完成50nm级极薄镀层的测量;
·无标样测量:与以往的技术相比,薄膜FP软件得到进一步扩充,即使没有标准品也能精确测量;
·多镀层测量:最多能够进行5层的多镀层样品测量;
·广域图像观察:能将样品图像放大5到7倍,并对测量部位精确定位;
·低成本:较以往机型价格降低了20%。
FT110可降低成本如下:
˙节省材料费,
全球资源紧缺已是大势所趋,企业的材料费也是节节攀高;尤其是表面处理工作中所用到的贵金属更是一涨再涨,比如众如周知的黄金Au已从十几年前的百余元每克上涨到三百多元,以印刷电路板厂每年产量几十万套为例,根据业界经验如果能更好控制镀层厚度,企业每年可节约上千万的费用。
˙减少工期(作业人工)
通过X射线仪来评价,管理产品可以轻松知晓产品能发挥最大功能时的最小镀层厚度,从而避免重复电镀造成的电费和人工费的流失。
˙减少修理,修补等产生的制作费用
通过X射线仪可避免镀层不均或太薄造成的质量问题,以及后续的返工造成的费用。
基本规格
测量元素 |
原子序号22(Ti)~83(Bi) |
镀层测试软件 |
薄膜FP法 |
X射线管 |
管电压:50KV 管电流:1mA |
薄膜检量线法 |
|
检测器 |
比例计数管 |
测量功能 |
自动测量、中心搜索 |
准直器 |
0.1mmΦ, 0.2mmΦ |
定性功能 |
KL标记线、对比显示 |
影像窗口 |
CCD摄像机(带倍率放大功能) |
安全功能 |
样品门安全防护机构 |
X-ray Station |
计算机+19英寸液晶显示器 |
使用电源 |
100~240V/15A |
样品台移动量 |
250(X)×200(Y)mm |
样品最大高度 |
150mm |
注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途