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纳米压痕仪 NanoFlip

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KLA
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产品详情

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产品描述

NanoFlip提供高精度XYZ位移,可定位样品进行测试,还提供翻转机制,可定位样品进行成像。InView软件附带一套测试方法,涵盖一系列测试协议,并允许用户创建自己的新颖测试方法。InForce50驱动器在真空和常压条件下表现同样出色。InView软件可以记录SEM或其他显微镜图像,并与机械测试数据进行同步。创新的FIB-to-Test技术允许样品倾斜90°,无需移除样品即可实现从FIB到压痕测试的无缝过渡。


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主要功能

  • InForce 50驱动器,用于电容位移测量,并配有电磁启动的可互换探头

  • InQuest高速控制器电子设备,具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数

  • 用于样本定位的XYZ移动系统

  • SEM视频捕获,可以将SEM图像和测试数据进行同步

  • 独特的软件集成压头校准系统,可实现快速,准确的压头校准

  • 与Windows®10兼容的InView控制和数据查看软件以及协助用户设计实验的方法开发功能


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主要应用

  • 硬度和模量测量(Oliver-Pharr)

  • 连续刚度测量

  • 高速材料性质分布图

  • ISO 14577硬度测试

  • 聚合物的纳米动态力学分析(DMA)

  • 定量刮擦和磨损测试


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工业应用

  • 大学、研究实验室和研究所

  • 支柱和微球制造

  • MEMS(微机电系统)

  • 材料制造(结构压缩/拉伸/断裂测试)

  • 电池和元件制造



应用

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硬度和模量测量(Oliver-Pharr)

NanoFlip纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。


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连续刚度测量 (CSM)

连续刚度测量用于量化动态材料特性,例如应变率和频率引起的影响。 NanoFlip纳米压痕仪提供0.1Hz至1kHz的动态激发,采用随时间变化进行监测以准确确定初始表面接触,并根据深度或频率持续对接触刚度进行测量。


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材料特性分部

对于包括复合材料在内的许多材料,其机械性能可能因部位而异。NanoFlip的样品平台可以在X轴和Y轴上移动21mm,并在Z轴方向移动25mm,这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在样品区域上进行测量。可选的NanoBlitz形貌和断层成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。


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ISO 14577硬度测试

NanoFlip纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法,可用于测量符合ISO 14577标准的材料硬度。该测试方法自动测量并报告杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕。


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纳米动态力学分析(DMA)

聚合物是非常复杂的材料。为了获取决定聚合物设计的有用信息,需要对相关样品在相关的条件下进行机械性能测量。纳米压痕测试帮助这种特定相关的测量易于进行,因为只需要制备很小或很少量的样品。NanoFlip纳米压痕系统还可以通过在与材料接触时振荡压头来测量聚合物的复数模量和粘弹性。


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定量划痕和磨损测试

NanoFlip可以对各种材料进行刮擦和磨损测试。涂层和薄膜会经过化学机械抛光(CMP)和引线键合等多道工艺,考验薄膜的强度及其与基板的粘合性。重要的是这些材料在这些工艺中抵制塑性变形,并且保持原样而不会基板起泡。

产品优势

NanoFlip纳米压痕仪可在真空和常压条件下对硬度、模量、屈服强度、刚度和其他纳米力学测试进行高精确度的测量。在扫描电子显微镜(SEM)和聚焦离子束(FIB)系统中,NanoFlip在测试(例如柱压缩)方面表现优异,可以将SEM图像与机械测试数据同步。NanoFlip测量迅速,这对于惰性环境(例如手套箱)中测试异质材料很关键。系统所配置的可选套件,例如InForce50电磁驱动器,可以提供定量结果,从而为材料研究提供有价值的解决方案。


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