第1年
小型温控蒸发镀膜仪
卤素灯RTP退火炉
OLED有机无机蒸发镀膜系统配手套箱
桌面型双源蒸发镀膜仪
小型加热涂布机
不锈钢腔体单靶磁控溅射镀膜仪
三源高真空蒸发镀膜仪
八寸加热型旋转涂覆仪
单靶等离子溅射镀膜仪
15L等离子清洗机是一种小型化、非破坏性的清洗设备。该等离子清洗机采用低气压激发等离子体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。10L等离子清洗机 500W/1000W配有一台机械真空泵，在抽真空维持腔体真空度的同时也能将被等离子反应后的污染物通过真空泵抽走；因此短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉。
等离子清洗机(plasma cleaner)，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
等离子清洗机除了具有清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能，在清洗过程中，小型等离子清洗机的辉光放电可以加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
这款等离子清洗机适合于实验室和小型生产。采用13.56Mhz的射频电源，能够用来匹配各种常用气体的等离子体。射频电源的功率从100W到1000W之间有多种常用规格可供选配，能够满足用户的多样化需求。
技术参数：
主要部件 | 指标名称 | 参数指标 |
清洗仓体 | 清洗仓材质 | 不锈钢 |
清洗仓尺寸 | 220mm x 220mm x300mm | |
射 频 电 源 | 电源特性 | 该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。 |
电源优势 | ●可长时间正常运行 ● 电源效率高、发热少 | |
射频功率 | 0~500W连续可调 | |
信号频率 | 13.56MHz ±0.005% | |
反射功率 | ≤100W | |
功率稳定度 | ±0.1% | |
射频接头 | N型头 | |
整机效率 | ≥75% | |
谐波分量 | ≤-50 dBc | |
冷却方式 | 强制风冷 | |
气 体 测 量 | 测量部件 | 浮子流量计 |
气体通道 | 两通道 | |
A通道量程 | 10～100ml | |
B通道量程 | 16～160ml | |
真 空 获 取 | 真空测量 | 数字真空计（电阻规） |
真空抽取 | 分子泵组 | |
抽气速率 | 旋片泵1.1L/s 分子泵600L/s | |
极限真空 | 1.0E-4Pa | |
管道接口 | 进气口：φ8快拧接头; 抽气口KF40/KF16 | |
连接管道 | KF40真空波纹管 | |
电机功率 | 400W/1.5KW | |
其 它 | 供电电源 | AC220V 50/60Hz |
整机功率 | 1000W | |
使用温度 | -10℃ -- 40℃ | |
工作真空 | ≤40Pa | |
整机尺寸 | 600mmX650mmX730mm | |
整机重量 | 80kg（不含泵组） |
鲁公网安备37021402001368号