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单靶磁控溅射镀膜仪

价格 150000.00元/件
供应总量
20 件
最小起订
1 件
品牌名称
CYKY
厂家区域
河南郑州市
发货期限:
自买家付款之日起 15 天内发货
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店铺信息

所在地区:河南 郑州市

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产品详情
整机功率:
6KW
极限真空度:
5x10-4Pa
整机尺寸:
1090mm X 900mm X 1250mm

单靶磁控镀膜仪 

单靶磁控溅射镀膜仪为我公司研发的实验室专用镀膜仪,设备可选配直流电源,和射频电源,功率从500W-1000W不等,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等。

磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点,镀膜速率高,样品温升低,是典型的高速低温溅射。磁控靶配有水冷夹层,水冷机能够有效的带走热量,避免热量在靶面聚集,使磁控镀膜能长时间稳定工作。

设备经过紧凑化设计,实现了体积与性能的平衡,造型美观功能全面。整机均采用触控屏控制,内置一键式镀膜程序,操作简单易上手,是一款实验室制备薄膜的理想设备。


 技术参数:

项目

明细

型号

CY-MSP500S-RF

供电电压

AC220V,50Hz

整机功率

6KW

极限真空度

5x10-4Pa

载样台参数

尺寸

φ150mm

加热温度

zui高500℃

控温精度

±1℃

转速

1-20rpm可调

磁控溅射头参数

数量

1个2”磁控溅射头

冷却方式

水冷,所需流速10L/min

水冷机规格

10L/min流速的循环水冷机

真空腔体

腔体尺寸

φ300mm X 340mm H

腔体材料

不锈钢

观察窗口

φ100mm

开启方式

上顶开式,便于更换靶材

气体流量控制器

1路200sccm Ar;

真空泵

配有一套分子泵系统,抽速600L/S

膜厚仪

石英振动薄膜测厚仪一台,分辨率0.10 Å

溅射电源

射频电源,500W-1000W,适用于非金属镀膜

 

操作方式

一体机电脑操作

整机尺寸

1090mm X 900mm X 1250mm

整机重量

350kg


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