第1年
电磁铁型霍尔效应测试仪半导体测试
定制实验室高真空热处理炉磁场退火
Cernox 温度传感器低温测量碳陶瓷低
VSM振动样品磁强计磁性材料测量仪器
实验室双极性恒流输出电磁铁励磁电
定制实验室磁场发生装置可调气隙电
实验室低温温度计Cernox 温度传感器
- 真空度：
- 真空上等高达10-8Pa
- 腔体材质：
- 无磁不锈钢或者铝合金
- 制冷方式：
- 液氦/液氮制冷/闭循环制冷机
产品概述：
锦正茂高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台，它的诸多设计都是专用的。因此，高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如，要求的磁场值，均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等，均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联；位移台还可与磁流体密封搭配，实现水平方向二维移动和样品台360度转动；除此之外，该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户，可以磁场的高稳定性。因此，该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。
锦正茂高低温真空磁场探针台探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。
应用范围：
磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试，微电子机械系统，超导电性测试，纳米电路的光电属性，量子点和线，高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。
可选附件：
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线
þ CCD或C-MOS视频成像装置
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统升级
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
þ 各类探针夹具
þ 屏蔽箱
þ 防振桌
þ 转接头
þ 静音真空泵
技术指标：
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高低温真空磁场探针台 |
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型号 |
T8-EM4 |
T8-EM5 |
T8-EM7 |
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真空度 |
真空上等高达10-8Pa |
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腔体材质 |
无磁不锈钢或者铝合金 |
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磁场范围 |
2000Gs @50mm |
5000Gs@50mm |
1T@50mm |
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磁场方向 |
水平（可按用户要求设计成竖直方向的） |
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配套电源 |
双极性电源±50A |
双极性电源±70A |
双极性电源±90A |
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电源稳定性 |
50ppm（可选10ppm） |
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制冷方式 |
液氦/液氮制冷/闭循环制冷机 |
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温度范围 |
5K-325K可选500K |
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控温分辨率 |
0.001K控温仪相关 |
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温度稳定性 |
优于0.1K依赖于控温仪 |
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温度传感器 |
硅二极管/PT100/CernoxTM |
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传感器数量 |
样品台、防辐射屏、探针臂各一个 |
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样品台尺寸（max） |
Φ50mm，平整度≤7μm |
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样品台固定方式 |
真空硅脂/弹簧压片 |
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样品台材质 |
镀金无氧铜 |
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显微镜行程 |
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm |
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放大倍数 |
16~100X/20~4000X |
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真空腔观察窗尺寸 |
1inch |
1.5inch |
2inch |
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窗口材料 |
熔融石英（可选K9、氟化钙等） |
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探针臂数量 |
2、4、6、8可选 |
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探针臂行程 |
(X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更换 |
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位移精度 |
10μm /2μm/1μm/0.7μm可选 |
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接口形式 |
普通真空接头/三同轴接头/BNC/SMA等 |
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探针直径 |
0.51mm |
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针尖直径 |
10μm/5μm/1μm可选 |
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探针材料 |
钨/GGB |
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供电电压 |
AC220V 50Hz/60Hz |
AC380V 50Hz/60Hz |
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北京锦正茂科技有限公司接受任何形式的定制，精度高，周期短。
鲁公网安备37021402001368号