CM-4简易探针台

特点/应用

◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等.

◆ 最大可用于6英寸以内样品测试

◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动

◆ 可放置于手套箱内使用

◆ 形状轻巧，操作方便，价格实惠 

◆ 台体规格：

尺寸 4英寸/6英寸 

水平旋转 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 

X-Y移动行程 2英寸*3英寸 

X-Y移动精度 10微米 

样品台Z轴调节 可升降10mm 

样品固定 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 

针座平台 左右各一个针座平台，最多可放置6个探针座 

背电极测试 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 

外形尺寸 400mm长*380mm宽*500mm高 

重量 约20千克 

◆ 光学系统：

显微镜类型 单筒显微镜/体式显微镜 

放大倍率 16X-200X 

移动行程 水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm 

光源 外置LED无极调节亮度环形光源 

CCD 200万像素/500万像素/1200万像素 

◆ 定位器：

X-Y-Z移动行程 12mm*12mm*12mm 

移动精度 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 

吸附方式 磁力吸附/真空吸附 

线缆 同轴线/三轴线 

漏电精度 10pA/100fA/10fA 

固定探针 弹簧固定/管状固定 

接头类型 BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 

针尖直径 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 

针尖材质 钨钢/铍铜 

◆ 可选附件

加热台 

显示器 

转接头 

射频测试配件 

屏蔽箱 

光学平台 

镀金卡盘 

光电测试配件