第1年
特点/应用
◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等
◆ 最大可用于6英寸以内样品测试
◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动
◆ 可放置于手套箱内使用
◆ 形状轻巧，操作方便，价格实惠
◆ 台体规格：
尺寸 | 4英寸/6英寸 |
水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 |
X-Y移动行程 | 4英寸*4英寸 |
X-Y移动精度 | 10微米 |
样品台Z轴调节 | 可升降10mm |
样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
针座平台 | U型针座平台，最多可放置6个探针座 |
背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
外形尺寸 | 400mm长*400mm宽*500mm高 |
重量 | 约25千克 |
◆ 光学系统：
显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜 |
放大倍率 | 16X-200X |
移动行程 | 水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm |
光源 | 外置LED无极调节亮度环形光源 |
CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
◆ 定位器：
X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm |
移动精度 | 10um/2um/0.7um/0.5um |
吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
线缆 | 同轴线/三轴线 |
漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
接头类型 | BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
针尖直径 | 0.2um/1um/2um/5um/10um/20um |
针尖材质 | 钨钢/铍铜 |
◆ 可选附件
加热台 |
显示器 |
转接头 |
射频测试配件 |
屏蔽箱 |
光学平台 |
镀金卡盘 |
光电测试配件 |
鲁公网安备37021402001368号