德国 Raith 电子束光刻机 Pioneer Two

型号：

Pioneer Two

产地：

德国

德国 Raith Pioneer Two 电子束光刻机：

1.系统适用于2"及以下的样片，采用热场发射电子枪，加速电压为20V~30kV。可实现高分辨电子束曝光，最小验收线宽≤8nm。
2.系统中集成了高精度的激光干涉工作台，运动行程为50 x 50 x 25mm，XY方向定位精度2nm，可以实现精确的拼接套刻，拼接套刻精度≤50nm。
3.系统兼具了高精度成像度量的功能，其成像效果和市面上中高端的热场电镜类似，放大倍数为20x ~1,000,000x。 
4.另外，除了标准配置, 客户还可以增加一些选配件，如选配背散射探测器、能谱仪等，进行材料分析；选配工作台旋转倾斜模块，实现不同角度的材料成像等。如果选择相应的选配件，请增加相应的价格。

   

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

售后服务承诺

免费上门安装：是

保修期：1年

是否可延长保修期：否

保内维修承诺：经确认质量问题，免费更换。

报修承诺：24小时内到达现场并开始维修

免费仪器保养：6个月一次。

免费培训：免费安装及技术培训

现场技术咨询：无