第1年
牛津仪器TeslatronPT无液氦磁体低温
牛津仪器高速共聚焦成像平台Andor D
牛津仪器PlasmaPro 100 Polaris单晶
牛津仪器MQC+台式磁共振分析仪
牛津仪器Optistat光学恒温器
牛津仪器相机Andor iKon-XL CCD
牛津仪器EBSD Symmetry探测器
牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统
- 型号：
- Ionfab300
- 产地：
- 英国
Ionfab 300 IBD
客户选择我们的离子束沉积产品是因为它们能够生产具有高质量，致密和表面光滑的沉积薄膜。离子束技术提供了一种多样的刻蚀和沉积的方法，并可在同一设备上实现， 因而提高系统的利用率。我们的设备具有灵活的硬件选项，包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统规格与实际应用紧密协调，以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。
多模式功能
能够与其它等离子体刻蚀和沉积设备相集成
单晶圆传送模式或集群式晶圆操作
双束流配置
更低的表面薄膜粗糙度
更佳的批次均匀性和工艺重复性
精确终点监测 —— SIMS，发射光谱
Ionfab 300 IBE
离子束刻蚀的灵活性、均匀性俱佳且应用范围广。我们的设备具有灵活的硬件选项，包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统配置与实际应用紧密协调，以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。
多模式功能
能够与其它等离子体刻蚀和沉积设备相集成
单晶圆传送模式或集群式晶圆操作
双束流配置
更低的表面薄膜粗糙度
更佳的批次均匀性和工艺重复性
精确终点监测 —— SIMS，发射光谱
注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
鲁公网安备37021402001368号