日立新品发布：高分辨率肖特基场发射扫描电镜“SU3900SE”、“SU3800SE”系列

　　【中国仪器仪表网 新品发布】近日，“日立高新技术” 发布高分辨率肖特基场发射扫描电镜“SU3900SE”、“SU3800SE”系列 ，可对大型重型样品进行纳米级高精度和高效观察。

　　本系列zui大可观察样品重量达到 5 kg。此外，通过搭载日立高新技术 SEM*1系列中zui大级别的马达台，可以对直径 300 mm、高度 130 mm 的大型样品进行观察，从而减少切割样品等加工工序，实现高效的观察工作。并且，新产品在可以进行大型重型样品观察的同时，还兼具马达台 5 轴(左右、前后、上下、倾斜、旋转) 移动。此外，通过搭载相机导航功能，可以将一系列单独拍摄的图像拼接在一起从而观察样品全貌，支持观察大型样品时的视野搜索*2，有助于提高操作性。

　　肖特基场发射扫描电镜“SU3900SE”、“SU3800SE”系列 主要特点

　　(1) 大型重型样品的大范围观察

　　通过对大型重型样品观察的马达台，日立高新技术的大型SEM实现了对直径300 mm、高130 mm、重量5 kg样品的观察。此外，产品既可搭载大型重型样品又具备5轴移动的功能。

　　(2) 使用光学相机图像的进行简单的大范围移动

　　使用光学相机导航系统可覆盖整个马达台的移动范围，轻松确定样品位置。此外，光学相机图像也可以随马达台而旋转，从而轻松移动样品位置，并在 SEM 图像中顺利观察到样品位置。

　　(3) 获取大量数据时减轻用户负担

　　配备可选功能“EM Flow Creator”，可视需要组合倍率和马达台位置等条件设置、焦距及对比度等调整功能，创建一系列观察菜单。通过执行创建的菜单，可进行自动观察，有助于减轻用户的操作负担，并在连续图像采集过程中节省人力。