莱伯泰科“硅片表面金属离子国产检测仪器项目”荣获科学技术进步奖二等奖

来源：中国仪器仪表网作者：碧水蓝天日期：2024-11-21 16:40:53

　　【仪器仪表网厂商新闻】近日，北京莱伯泰科仪器股份有限公司凭借其《硅片表面金属离子国产检测仪器首创项目》荣获“2023年度中国检验检测学会科学技术奖”科学技术进步奖二等奖。

离子色谱仪

　　莱伯泰科此次获奖的《硅片表面金属离子国产检测仪器首创项目》成功解决了国产仪器在此领域的技术kong白，有望打破国外技术的长期垄断。该项目依托xian进的ICP离子源技术、加强的离子传输系统和基于CAN总线的电控系统，实现了仪器的高效稳定运行及精准检测，满足了半导体硅片行业对极低检出限的严苛要求。

　　莱伯泰科LabMS 3000电感耦合等离子体质谱仪和LabMS 5000电感耦合等离子体串联质谱仪，其技术成熟度与产品可靠性已经满足国内集成电路制造企业对28nm以上制程硅片表面金属离子检测的需求。

标签: 莱伯泰科硅片金属离子国产检测仪器

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