马尔文帕纳科将携手粒子监测系统公司和仕富梅参展Semicon China 2023

　　【仪器信息网 厂商新闻】2023年6月29日至7月1日，马尔文帕纳科(Malvern Panalytical)将携手美国粒子监测系统公司(PARTICLE MEASURING SYSTEMS)和仕富梅(SERVOMEX) 参展Semicon China 2023，共同为半导体行业带来涉及化合物半导体薄膜测量、超净间粒子监测以及气体传感器等分析测试解决方案。

　　马尔文帕纳科 半导体行业解决方案

　　高分辨衍射HDXRD

　　X'Pert3 MRD 和 X'Pert3 MRD XL 高分辨 X 射线衍射仪能够提供完整、无需校准且准确的晶体生长信息，比如材料成分、薄膜厚度、渐变层图谱、晶相和界面层质量。

　　适用于：

　　用于5G，光通讯，高功率器件以及Si、GaN、GaAs等材料结构质量控制的高分辨X射线衍射仪

　　全自动测定成分，厚度和结晶质量

　　非破坏性分析，超高精度

　　横向均匀性测量

　　多功能智能衍射XRD

　　第三代Empyrean Multicore锐影智能衍射仪，可无需人工干预自行切换光路系统，实现包含多种薄膜材料分析在内的多种广泛的实验。

　　晶圆分析仪WDXRF

　　2830ZT晶圆分析仪专门针对半导体和数据存储行业而设计，能提供多种薄膜的厚度和成分信息，为多种晶片(直径达300mm)测定层结构、厚度、掺杂度和表面均匀性。

　　适用于：

　　Logic，NAND，Flash，PRAM，DRAM，MRAM及圆晶代工制程的过程控制

　　SAW、BAW、FERAM、GMR/TMR存储器、硬盘

　　绝缘体和隔层

　　内部导线和金属膜

　　镀膜系统鉴定，如CVD、PVD