日立科学仪器发布FE-SEM SU8600和SU8700场发射扫描电子显微镜

【仪器仪表网  新品动态】近日，日立高新技术公司推出两款FE-SEM(场发射扫描电子显微镜)“SU8600”和“SU8700。该产品配置自动获取大量数据的功能，可用于观察、测量和分析样品细微结构，被广泛用于半导体、生命科学和材料研发等领域。

在细微结构分析中，SU8600可以实现低加速电压观察，对高分子等易受电子束照射影响的材料进行高分辨观察。SU8700可配置各种分析附件，适用于从低加速观察到高束流的EBSD*3分析，支持陶瓷、金属等不同材料的解析。

FE-SEM SU8600和SU8700场发射扫描电子显微镜的产品特点：

1.支持自动获取数据

在FE-SEM的观察和分析中，需要根据测量样品与需求调整观察条件。调整所需时间的长短取决于用户的操作熟练度，这是造成数据质量与效率差异的因素之一。此系列产品标配自动调整功能，可避免人为操作导致的差异。

2.增加获取信息的种类与数量

通过SEM能够收集到多种信号，且此系列产品zui多可以同时显示和存储6个检测器的信号。在减少图像获取次数的同时能够获取多种信息。

3.增强信号检测能力

SU8600开发了多个新型选配检测器，加强了对凹凸信息、发光信息的检测能力。此外，还提高了背散射电子信号检测的响应速度。