岛津仪器：春节假期，表面分析仪器(SPM、EPMA、XPS)关开机指南

　　【仪器设备行业网 专题推荐】岛津仪器：春节假期，表面分析仪器(SPM、EPMA、XPS)关开机指南。详情请见下文：

　　扫描探针显微镜

　　SPM-9700HT关机篇

　　1.实验测试结束后，请抬高探针，如Release10步;

　　2.抬高探针后，请取出探针架及样品，并盖上环境舱盖子;

　　3.盖上盖子后，请关闭SPM online操作软件;

　　4.闭软件后，请关闭电脑及显示器;

　　5.关闭电脑后，请关闭SPM控制箱，即SPM ConTROL UNIT;

　　6.关闭控制箱后，请关闭变压器(220V-100V)，并确认气体(如氮气)分压阀及总阀关闭;

　　7.确认总电源是否需要关闭。

　　8.将探针从探针架上取下，分别收纳保存。

　　SPM-9700HT开机篇

　　1.开机前检查总的电器开关、连接是否正常;房间温湿度是否达标;

　　2.开启总电源;开启变压器(220V-100V);

　　3.开启变压器后，请开启主动减震台;

　　4.开启减震台后，请开启SPM控制箱，即SPM ConTROL UNIT，请确认控制箱绿色电源灯亮起;

　　5.开启控制箱后，请在确认控制箱Ready灯亮起(黄色)后，开启电脑及显示器;

　　6.开启电脑后，请开启SPM online操作软件;

　　7.请安装合适的探针，打开光纤灯，调节光路，光路粗调完毕后请关闭光纤灯;

　　8.选择需要的模式，进行仪器调试及样品测试。

　　电子探针显微分析仪

　　EPMA-1720关机篇

　　一、春节假期，如果仪器能正常供电，可选择待机模式(真空运转模式)：

　　1. 收拾整理好样品和工具;标样可留在仪器主腔体内保持真空状态，试样可取出放于干燥器皿或电子干燥柜中;

　　2. 计算机Observer窗口中，选择关闭发射电流Emission和高压AccV;菜单System中选择Standby即可;

　　3. 检查水、电、气、门、窗。

　　二、如果假期有可能停电，可选择关闭整个系统(全关闭模式)：

　　1.工作结束后收拾规整样品、标样和各种工具，注意保存数据;标样可放置于仪器主腔体内。试样在真空状态下若稳定性不够，需取出放置于干燥器皿或电子干燥柜中保存;

　　2.计算机Observer窗口中，关闭Emission发射电流和高压AccV;在System菜单中选择Shut down，待窗口显示Main switch can be turned OFF后(约10分钟)可关闭主机电源;

　　3.计算机Analysis窗口中，选择关闭软件及计算机;

　　4.关闭附属设备，包括PR气和循环冷却水(在主机关闭60分钟以后操作);

　　5.关闭主电源。

　　EPMA-1720开机篇

　　一、从待机模式开启：

　　1.请确认水、电、气正常工作;

　　2.在Observe计算机下System菜单中选择Startup system;

　　3.确认初始化谱仪和样品台;

　　4.真空达到后，加载高压AccV和发射电流Emission;

　　5.待束流稳定后，进行合轴操作，即可正常工作。

　　二、从全关闭模式开启前，请先确认一下：

　　检查电源总开关、连接是否正常;环境是否达到要求。

　　1.查看循环水水质，可在关机状态下更换循环水，检查循环水设备的排气网，有灰尘时，要注意清理;

　　2.检查机械泵油位和油质，及时添加或更换，并检查机械泵开关总是处于打开状态;

　　3.检查气瓶的气体余量，当压力不足时及时更换;

　　4.确认空压机处于打开状态、打开PR气和循环水设备;

　　5.依次打开控制柜电源，给仪器和附件供电;

　　6.主机开关打开(Observe计算机会自动启动);

　　7.打开Analysis计算机，并打开控制软件，联机到EPMA主机;

　　8.计算机Observer窗口中，在System菜单中选择Startup System，自动初始化谱仪和样品台;

　　9.当真空达到要求后(Operation变为绿色)，可加载高压及电流;

　　10. 待束流稳定后，可正常工作。

　　以上针对EPMA-1720系列，如您使用EPMA-1600系列、EPMA-8050G可参考手册，如有疑问请随时与岛津工程师联系。

　　X射线光电子能谱仪

　　XPS关机篇

　　一、对于假期期间可以正常供电的用户：(强烈建议保持待机状态)

　　1.实验结束后，请将已测试样品传输至预抽室;

　　2.确保预抽室与主真空室阀门关闭，将样品从预抽室取出;

　　3.取出样品后，关闭预抽室腔门，点击Pump，抽真空;

　　4.若未配备空压机，需检查气体(普氮)，确保余气充足(使防震气垫正常工作)。

　　二、对于假期期间可能停电的用户：(全关闭状态)

　　1.实验结束后，请将已测试样品传输至预抽室;

　　2.确保预抽室与主真空室阀门关闭，将样品从预抽室取出;

　　3.取出样品后，关闭预抽室腔门;

　　4.关闭高纯氮进气阀，对没有空压机客户保持普氮进气阀开启状态(使防震气垫正常工作);

　　5.关闭离子枪、UPS与主真空连接阀门及三个Backing阀门，关闭分子泵，关闭真空规，关闭粗抽泵;

　　6.关闭X射线源、X射线高压、磁透镜、离子枪、分析器、偏压控制单元按钮。关闭VCU单元的Protected Mains按钮。

　　7.关闭仪器背后真空、Motor及处理器控制单元;

　　8.关闭计算机，关闭仪器空气开关(由左至右)，zui后关闭水冷机。

　　9.确认是否关闭电源总开关。

　　以上为针对Axis Supra的常规开关机注意事项，Axis Ultra、AMICUS系列请参看相关操作手册。

　　XPS开机篇

　　一、对于假期期间保持待机的用户：

　　1.检查气体及循环水后，仪器可正常开启;

　　2.检查高纯氮余气，建议正常测试前对灯丝、阳极靶进行脱气。

　　二、对于假期期间关机的用户：

　　先检查总电源开关是否正常;环境是否达到要求

　　1.开启总电源;

　　2.检查气体及循环水水质，确认是否需要更换循坏水;

　　3.开启循环水;

　　4.开启主机空气开关(由右至左，Baking开关保持关闭);

　　5.开启Protected Mains按钮及关闭的各控制单元按钮;

　　6.开启计算机，启动软件;

　　7.开启关闭的三个Backing阀，涡轮泵预抽约半小时后打开真空规;

　　8.确认真空后开启分子泵及关闭的两个连接阀门;

　　9.检查高纯氮余气，开启高纯氮进气阀;

　　10.建议正常测试前对灯丝、阳极靶进行脱气。

　　以上为针对Axis Supra的常规开关机注意事项，Axis Ultra、AMICUS系列请参看相关操作手册。