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那诺-马斯特中国有限公司
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Sputtering/磁控溅射系统,PECVD/等离子增强化学气相沉积,PA-MOCVD/等离子辅助MOCVD,ALD/原子层沉积,Thermal Vacuum/热真空系统,TE&EBE/热蒸发电子束蒸发镀膜,PE&RIE/等离子刻蚀及反应离子刻,IBM&IBE/离子铣离子束刻蚀,ICP&DRIE/感应耦合等离子及深硅,PLD/脉冲激光沉积系统,Ion Beam Sputter/离子束溅射系,Cleaner&Megasonic/兆声清洗去胶,Cleaner&Ion Beam/离子束清洗系,Cleaner&
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