German First-Nano System  

我们是 First Nao System 中文：韦氏纳米系统

韦依人则为伟！

所以我们始终坚持“以客户为中心，以员工为本“，知识、人才, 敬业, 奉献是公司的企业文化。

First Nano System GmbH 诞生于2003年。

在成长的过程中，我们脚踏实地、奋勇向前。

• 2003年          创立于德国德累斯顿工业大学（Dresden University of Technology）

• 2008年          香港成立德国韦氏纳米系统（香港）有限公司   

• 2015年          上海成立德国韦氏纳米系统（香港）有限公司中国代表处

• 2018年          深圳正式成立韦氏纳米系统（深圳）有限公司

德国韦氏纳米系统成立以来，一直为客户想的更多，Thinking more ！！！

产品范围：

薄膜沉积/Thin Film Deposition 
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蚀/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面处理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
其他/Other,
Device Testing System for Space Simulation, Heated Platens, Plasma Sources, Resist Stripping Systems