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第1年
那诺-马斯特中国有限公司
Sputtering/磁控溅射系统,PECVD/等离子增强化学气相沉积,PA-MOCVD/等离子辅助MOCVD,ALD/原子层沉积,Thermal Vacuum/热真空系统,TE&EBE/热蒸发电子束蒸发镀膜,PE&RIE/等离子刻蚀及反应离子刻,IBM&IBE/离子铣离子束刻蚀,ICP&DRIE/感应耦合等离子及深硅,PLD/脉冲激光沉积系统,Ion Beam Sputter/离子束溅射系,Cleaner&Megasonic/兆声清洗去胶,Cleaner&Ion Beam/离子束清洗系,Cleaner&
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NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统
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1000000.00
0已售
NLD-3500 (A) 全自动原子层沉积系统
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1000000.00
0已售
NLD-4000(ICPM)PEALD原子层沉积系统
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1000000.00
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NTE-3500 (M) 热蒸发系统
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800000.00
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NTE-3000 热蒸镀系统
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NPC-4000 (M) 等离子清洗机
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磁控溅射系统NSC-4000 (M)
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NPC-3500 (A) 全自动等离子清洗机去胶机
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800000.00
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SWC-4000 (M) 兆声掩模板清洗机
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10000.00
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LSC-5000 (AC) 全自动兆声大基片清洗系统
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