那诺-马斯特中国有限公司  

NANO-MASTER INC(那诺-马斯特股份有限公司)前身是NANO-MASTER USA(那诺-马斯特美国)，该公司是NANO-MASTER S.A.,France(法国那诺-马斯特有限公司)于1992年在美国所创立的全资子公司，是一家国际领先的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始Birol Kuyel博士全面接管NANO-MASTER,USA(那诺-马斯特美国)并正式更名。NANO-MASTER(那诺-马斯特)自2001年开始设计开发薄膜应用方面的设备，正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD，用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD，溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅)，热蒸发和电子束蒸发，离子束刻蚀和反应离子刻蚀，原子层沉积，兆声清洗以及光刻胶剥离等。不到十年的时间内NANO-MASTER(那诺-马斯特)已经发展成为全球薄膜设备的供应商，已售出的几百套设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。Birol Kuyel博士作为NANO-MASTER(那诺-马斯特), Inc.的主席和CEO，其背景涵盖了宽广的技术领域，包含高温等离子物理、流体学、Si3N4 薄膜沉积和特性描述、X射线... [详细介绍]