超纯水中的杂质快速超痕量分析 NexION 5000 ICP-MS电感耦合等离子体质谱

　　【仪器网 行业应用】本应用摘要证明了NexION 5000多重四极杆ICP-MS能够获得卓越的DLs和BECs，包括元素Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Co、Cu和Zn，并可以在ppq水平上准确定量这些元素。同时发现，NM-H2 Plus氢气发生器生成的反应气可以达到半导体应用所需的纯度水平，而不会造成任何与实验室氢气气瓶使用相关的潜在安全危险。使用此气体和单个等离子体模式(冷等离子体)可使每个样品的分析时间低至116秒，从而满足半导体实验室对超纯水分析的快速响应需求。

　　实验条件

　　样品制备

　　使用超纯水(18.27MΩ.cm-1)制备所有的空白溶液和标准溶液。在超纯水中，从浓度为1ppb的中间体储备液中制备出浓度为5、10、20和40 ppt的标准溶液。从多元素有证储备液(10 ppm，多元素标准溶液，生产商：珀金埃尔默公司，地址：美国康涅狄格州谢尔顿)中制备出中间体储备液。

　　方案

　　按表1所示条件，使用NexION 5000多重四极杆ICP-MS(制造商：珀金埃尔默公司，地址：美国康涅狄格州谢尔顿)进行所有分析。通过四极杆离子偏转器(Q0)，此多重四极杆ICP-MS能够控制进入离子透镜系统高真空区域的质量范围，使整个系统更加清洁。之后，在第一个四极杆质量分析器(Q1)中对离子进行质量分离，只有选定的质量数被允许进入通用池(Q2)。这样，分析物离子和干扰在池内发生受控的反应。

　　反应副产物在有机会发生反应并形成新的干扰之前被排除。之后，在第二个四极杆质量分析器(Q2)中选出分析物质量，以供检测。使用NM-H2 Plus氢气发生器(制造商：珀金埃尔默公司，地址：美国康涅狄格州谢尔顿)，以满足输送速度要求;产出的H2纯度为99.9999%，超出ICP-MS应用对H2的纯度要求。据发现，冷等离子体模式可显著改善许多分析物的BECs，因此将其用于所有分析。

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