半导体ZAO薄膜的光学性能测定 UV-8000型紫外-可见分光光度计

　　【仪器信息网  行业应用】本文采用磁控溅射法在衬底上制备ZAO薄膜，并重点分析了ZAO薄膜的光学性能。结果显示，本实验条件下，制备的ZAO薄膜结晶有序，缺陷较低，择优取向生长，衬底温度200℃时薄膜具有良好的可见光透射率。

　　选用仪器

　　光学性能的探究

　　利用UV-8000型紫外-可见分光光度计

　　测量薄膜的可见光透射率

　　图1是在不同衬底温度下所制备的Al掺杂量2%的ZAO薄膜的透光率曲线，由图可见，ZAO薄膜具有明显的截止吸收边，在300~800nm入射波长范围内ZAO薄膜的可见光透过率变化不是很大，ZAO薄膜的可见光透射率在不同衬底温度下均达到80%以上，某些波段透光率甚至可以达到95%，证明ZAO薄膜具有良好的透射率。在本实验条件下衬底温度为200℃时的ZAO薄膜透光率可达85%。

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